TSMC воспользуется фотолитографией в глубоком ультрафиолете для производства 5-нм процессоров
Тайваньский производитель процессоров, компания TSMC, объявила, что для производства 5-нанометровых процессоров рассчитывает использовать т.н. фотолитографию в глубоком ультрафиолете, она же экстремальная ультрафиолетовая литография
Читать далее